技術(shù)編號:12896184
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)中的晶圓切割,具體地說是一種劃片刀二次利用的方法。背景技術(shù)劃片機(jī)是用于半導(dǎo)體集成電路封裝線上,把晶圓切割成獨(dú)立的電路單元的設(shè)備。劃片刀是劃片機(jī)專用的刀片。晶圓劃片時,受到圓片的壓力和摩擦,造成劃片刀刀片向內(nèi)磨損,使得劃片刀的半徑(即刀片伸出量)逐漸變小。無論是未使用過的劃片刀還是已經(jīng)使用過的劃片刀,當(dāng)劃片刀的刀片伸出量不足以滿足允許加工的最低要求時,均不可以用于生產(chǎn)。針對劃片刀刀片伸出量不足的情況,一般是報(bào)廢舊劃片刀,直接更換新劃片刀。但是,由于晶圓劃片刀一般只能國外購買...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。