技術編號：12888987
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及層疊膜及其制造方法。背景技術近年來，有機電致發(fā)光元件(以下也稱為“有機EL元件”)作為自發(fā)光元件備受注目。有機EL元件是具有在支撐基板上用電極夾持有機化合物的發(fā)光層而成的結構，通過向電極間供給電流而發(fā)光的元件。對于有機EL元件，如果氧氣和水蒸氣等侵入元件內部則發(fā)生劣化，產(chǎn)生被稱為暗斑(以下有時省略為DS。)的發(fā)光不良部。因此，在有機EL元件的領域，為了抑制氧氣和水蒸氣侵入元件內部，提出了其發(fā)光元件部的支撐基板利用防止水蒸氣等氣體透過性能高的基板。作為有機EL元件中利用的具有防止氣體透過...
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