技術(shù)編號:12888872
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種TFT驅(qū)動背板的制作方法。背景技術(shù)薄膜晶體管(ThinFilmTransistor,TFT)是目前液晶顯示裝置(LiquidCrystalDisplay,LCD)和有源矩陣驅(qū)動式有機電致發(fā)光顯示裝置(ActiveMatrixOrganicLight-EmittingDiode,簡稱AMOLED)中的主要驅(qū)動元件,直接關(guān)系到高性能平板顯示裝置的發(fā)展方向。薄膜晶體管具有多種結(jié)構(gòu),制備相應(yīng)結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管有源層的材料也具有多種,其中,金屬氧化物薄膜晶體管(metal...
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