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加寬輸入輸出內(nèi)存的硅穿孔測試裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12888834

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本發(fā)明有關(guān)于半導(dǎo)體裝置的測試技術(shù),特別有關(guān)于一種加寬輸入輸出內(nèi)存的硅穿孔測試裝置。背景技術(shù)內(nèi)存芯片等半導(dǎo)體組件在封裝階段需要電性測試,以確定是否為良品以及運(yùn)算速率等級。對于內(nèi)存芯片與邏輯芯片的下一代堆棧標(biāo)準(zhǔn)來說,硅穿孔(ThroughSiliconVia,TSV)技術(shù)是關(guān)鍵科技,以連接多個內(nèi)存芯片,具體可為各式包含硅穿孔結(jié)構(gòu)的已知半導(dǎo)體封裝構(gòu)造以及芯片立體堆棧體(diecube),并應(yīng)經(jīng)過電性測試以確保微電子產(chǎn)品質(zhì)量。就加寬輸入輸出(WIDEI/O)的規(guī)格而論,待測硅穿孔裝置包含四信道,每一信道...
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