技術(shù)編號：12888799
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及顯示器件制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種燈絲、電離室及離子植入設(shè)備。背景技術(shù)顯示設(shè)備已成為人們現(xiàn)代生活中的不可缺少的一部分，在顯示設(shè)備的低溫多晶硅(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)薄膜晶體管和有機(jī)發(fā)光二極管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)的制程中，需要使用離子植入設(shè)備將等離子體植入到玻璃基板。在離子植入設(shè)備中，離子源氣體通過送氣管均勻的進(jìn)入電離室，電離室內(nèi)的燈絲通入電流后產(chǎn)生熱電子，熱電子與離子源氣體發(fā)生碰撞形成等離子體?，F(xiàn)...
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