技術(shù)編號(hào)：12883540
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及顯示產(chǎn)品的制作領(lǐng)域，具體涉及一種押元結(jié)構(gòu)和基板承載裝置。背景技術(shù)在顯示產(chǎn)品的制作過程中，通常采用采用磁控濺射的方式在基板上鍍膜。在磁控濺射的過程中，基板固定在基板承載裝置上，靶材與所述基板相對(duì)設(shè)置。其中，所述基板承載裝置包括押元結(jié)構(gòu)、托盤、支撐柱，支撐柱穿過托盤以支撐基板，押元結(jié)構(gòu)環(huán)繞基板設(shè)置，以對(duì)基板進(jìn)行夾持固定。押元結(jié)構(gòu)對(duì)基板的施力直接影響著基板的平整度，從而影響了鍍膜的均一性，影響產(chǎn)品品質(zhì)。另外，對(duì)于尺寸較大的基板，濺射的靶材一般采用多條相對(duì)獨(dú)立靶材拼接的方式設(shè)計(jì)，靶材之間存在間...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。