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一種用于藍(lán)寶石襯底拋光的硅鋁復(fù)合磨料的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12882992

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本發(fā)明屬于無機(jī)磨料制備和化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域,具體涉及一種用于藍(lán)寶石襯底拋光的硅鋁復(fù)合磨料的制備方法。背景技術(shù)藍(lán)寶石是單晶氧化鋁(Al2O3),具有優(yōu)異的機(jī)械、光學(xué)和化學(xué)性能,集耐高溫、耐刮擦、不反光、耐腐蝕等眾多優(yōu)點(diǎn)于一身,可廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車、智能家居、半導(dǎo)體、激光、微波元器件、航空航天等民用和軍用領(lǐng)域。其中,作為LED芯片的襯底材料,藍(lán)寶石因其技術(shù)相對(duì)成熟,成本相對(duì)低廉而占據(jù)該應(yīng)用超過95%的市場(chǎng)份額。自2009年LED背光以及2013年LED照明應(yīng)用市場(chǎng)的爆發(fā)以來,市場(chǎng)對(duì)藍(lán)寶石襯底材料...
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