技術(shù)編號：12864973
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體的，涉及制備薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示裝置。背景技術(shù)隨著顯示面板要求的不斷提高，TFT金屬導(dǎo)線細(xì)線化成為所要求的一項要點，TFT金屬導(dǎo)線細(xì)線化可以解決開口率、負(fù)載電容等問題。但是，在目前所進行氧化物TFT-LCD項目中，形成源漏極的材料為導(dǎo)電性能更好的金屬銅。而銅的緩沖層金屬與PR膠的粘附力是一項需要解決的問題。同時，隨著顯示中對比度及分辨率的要求不斷提高，需要柵極及源漏極線寬做到較細(xì)的水平，然而，細(xì)線化的金屬線會帶來刻蝕過程金屬與光刻(PR)膠粘附力的問...
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