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技術(shù)編號：12858543

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，具體地，涉及一種整平劑、含其的金屬電鍍組合物、制備方法及應(yīng)用。背景技術(shù)隨著超大規(guī)模集成電路(VLSI)和特大規(guī)模集成電路(ULSI)的發(fā)展，集成度不斷提高，電路元件越來越密集，芯片互連成為影響芯片性能的關(guān)鍵因素。這些互連結(jié)構(gòu)的可靠性對VLSI和ULSI的成功和電路密度的提高起著非常重要的作用。然而，由于電路系統(tǒng)的尺寸限制，VLSI和ULSI技術(shù)中互連線的尺寸縮小對加工能力提出了額外的要求。這種要求包括多層面、高深寬比結(jié)構(gòu)特征的精確加工等。隨著電路密度增加，互連線的線寬、...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
• 余老師：設(shè)計和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用，通過先進(jìn)表征手段和理論模擬計算理解催化位點和反應(yīng)機理，力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團(tuán)簇、金屬有機框架材料的合成性能研究與計算模擬，主要包括： 1.多酸團(tuán)簇-無機晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計、制備和器件應(yīng)用。
• 焦老師：新能源材料設(shè)計、合成及應(yīng)用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
• 蔣老師：以儲能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計及作用機理研究 4. 仿生材料的設(shè)計、合成及應(yīng)用研究