技術(shù)編號：12858406
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種蒸鍍裝置，用來實(shí)現(xiàn)薄膜在襯底上的蒸鍍，可廣泛應(yīng)用于OLED、半導(dǎo)體和LED等領(lǐng)域。背景技術(shù)蒸鍍是一種常見的薄膜材料淀積方法。在蒸鍍過程中，被蒸鍍材料在坩堝中被加熱至融化狀態(tài)，在處于真空狀態(tài)下的蒸鍍室內(nèi)，被蒸鍍材料通過蒸發(fā)被輸運(yùn)到襯底表面，在襯底上沉積而形成薄膜。由于蒸鍍材料為液態(tài)，為了防止蒸鍍材料流出，坩堝通常僅在上部開口，而襯底則被支撐著以待鍍面朝下被放置于坩堝的上方。在OLED的蒸鍍設(shè)備里，為了在蒸鍍時在襯底上僅獲得特定區(qū)域的鍍膜，而其他區(qū)域則被遮蔽，需要在襯底的下方放置精細(xì)金...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。