技術(shù)編號：12841760
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及干式真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種干式真空泵氮?dú)廨o助系統(tǒng)。背景技術(shù)干式真空泵是一種真空獲得設(shè)備，屬于機(jī)械真空泵的一種。目前，市場上比較常見的干式真空泵包括渦旋泵、羅茨泵、螺桿泵及爪式泵。干式真空泵的泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，且具有較高的真空度。干式真空泵的真空度要求高，而且要求軸向密封效果好；其次，干式真空泵轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速較高，發(fā)熱量大，存在冷卻不均勻的問題；再則，干式真空泵在抽除特殊氣體時，過高濃度的危險氣體易對泵體造成附著腐蝕，并有爆炸危險；最后，泵體內(nèi)吸入粉塵等雜質(zhì)，會造成轉(zhuǎn)子卡死。...
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