技術(shù)編號：12818208
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，特別是涉及一種壓電驅(qū)動(dòng)位移平臺的振動(dòng)和非線性抑制方法。背景技術(shù)壓電定位裝置是由壓電陶瓷(PZT)驅(qū)動(dòng)的能夠提供納米級分辨率的機(jī)械定位裝置。壓電定位裝置具有剛度高，尺寸緊湊，位移分辨率高，快速響應(yīng)以及低功耗的優(yōu)點(diǎn)，已被廣泛應(yīng)用于精密定位、納米制造系統(tǒng)、原子力顯微鏡掃描和光學(xué)測試等領(lǐng)域。然而，壓電定位裝置的定位精度會受到PZT非線性和機(jī)械振動(dòng)的影響。非線性包括遲滯(發(fā)生在大位移情況下)和蠕變作用(發(fā)生在低頻掃描時(shí))。而機(jī)械振動(dòng)是由于掃描信號高階分量接近或超過定位裝置的一階固...
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