技術(shù)編號(hào)：12807199
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及利用半導(dǎo)體工藝制備具有非易失性可編程pn結(jié)存儲(chǔ)器功能的器件結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)浮柵存儲(chǔ)器具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。在傳統(tǒng)的浮柵存儲(chǔ)器中，主要利用施加在控制柵上的脈沖電壓控制溝道層在不同的電阻存儲(chǔ)狀態(tài)之間變化，而不能在其它存儲(chǔ)狀態(tài)，如pn結(jié)與非pn結(jié)之間變化。這主要是由于，對(duì)于傳統(tǒng)的半導(dǎo)體材料，例如硅，它們的載流子類(lèi)型(p型或n型)主要由摻雜產(chǎn)生，一旦形成之后，就無(wú)法動(dòng)態(tài)的實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料在不同電荷類(lèi)型之間轉(zhuǎn)變。也就是說(shuō)，對(duì)于n型的溝道層，控制柵只能調(diào)控溝道層具有不同的電阻，但是主要載流子仍然是電子(...
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