技術(shù)編號:12807015
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種靜電放電保護(hù)結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體芯片的運(yùn)用越來越廣泛,導(dǎo)致半導(dǎo)體芯片受到靜電損傷的因素也越來越多。在現(xiàn)有的芯片設(shè)計中,常采用靜電放電(ESD,ElectrostaticDischarge)保護(hù)電路以減少芯片損傷?,F(xiàn)有的靜電放電保護(hù)電路的設(shè)計和應(yīng)用包括:柵接地場效應(yīng)晶體管(GateGroundedNMOS,GGNMOS)保護(hù)電路、可控硅(SiliconControlledRectifier,SCR)保護(hù)電路、橫向擴(kuò)散場效應(yīng)晶體管(Later...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。