技術(shù)編號：12803180
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種圖形化藍(lán)寶石襯底刻蝕用的裝夾模板裝置。背景技術(shù)藍(lán)寶石晶體是目前半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中使用最為廣泛的襯底材料，藍(lán)寶石具有高強(qiáng)度、高熔點、物理化學(xué)性能穩(wěn)定等特性，在軍事、航天航空、光學(xué)、生物、分析、半導(dǎo)體基片以及在高速信息處理、電子光子裝置的微型化、智能化方面得到廣泛的應(yīng)用。藍(lán)寶石襯底對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍(lán)寶石襯底上。藍(lán)寶石襯底有許多的優(yōu)點：首先，藍(lán)寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好；其次，藍(lán)寶石的穩(wěn)...
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