技術(shù)編號：12788063
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶體管的電性特征測試方法及裝置。背景技術(shù)目前，薄膜晶體管已經(jīng)成為顯示器件中非常重要的一種器件，其電性特征會影響顯示器件的性能。在生產(chǎn)過程中，需要對薄膜晶體管的電性特征，如工作電流(Ion)、漏電流(Ioff)、載流子遷移率(Mobility，Mob)、閾值電壓(Vth)，進行測量，以避免顯示產(chǎn)品異常?，F(xiàn)有技術(shù)中，一種對薄膜晶體管的電學性能進行測量的方式是，在源漏極工藝完成后,然后使用電性特征測試設備(EPMTester)進行測量分析，需要分別對柵極、源極、...
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