技術(shù)編號(hào):12788047
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體而言涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法。背景技術(shù)通常MOS晶體管由半導(dǎo)體襯底、源極區(qū)和漏極區(qū)、柵氧化層以及柵電極等幾個(gè)主要部分組成,源極區(qū)和漏極區(qū)對(duì)稱(chēng)分布于柵電極兩側(cè)的半導(dǎo)體襯底中,其基本結(jié)構(gòu)一般是一個(gè)四端器件,它的中間部分是由金屬-絕緣體-半導(dǎo)體組成的MOS電容結(jié)構(gòu),MOS電容的兩側(cè)分別是源極區(qū)和漏極區(qū),在正常的工作狀態(tài)下,載流子從源極區(qū)流入,從漏極區(qū)流出,絕緣層上為柵極,在柵極上施加電壓,可以改變絕緣層中的電場(chǎng)強(qiáng)度,控制半導(dǎo)體表面電場(chǎng),從而改變半導(dǎo)體表面溝道的導(dǎo)電能...
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