技術(shù)編號：12784067
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在線取樣設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種在線取樣裝置。背景技術(shù)六氯二硅烷(Si2Cl6)是一種高效的脫氧劑，用作無定形硅薄膜、光化學纖維原料以及硅氧烷等的優(yōu)良原料，在半導體、光電材料等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景和實際價值。六氯二硅烷最重要的用途是制造氮硅薄膜，相較于傳統(tǒng)的二氯二氫硅、硅烷氣沉積法制氮硅薄膜，六氯二硅烷氣相沉積法的沉積溫度、沉積壓力低、效率高且得到薄膜的密度、絕緣性、抗腐蝕性、兼容性皆更優(yōu)。六氯二硅烷遇水易發(fā)生水解反應(yīng)，生產(chǎn)的水解物極易燃燒，同時半導體、光電材料用六氯二硅烷的純度...
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