技術(shù)編號：12780024
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及激光直接成像技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種LDI設(shè)備及其拼接調(diào)試系統(tǒng)。背景技術(shù)光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等。生產(chǎn)良率是印刷電路板(PrintedCircuitBoard，簡稱PCB)行業(yè)的重要要求，生產(chǎn)過程中任何器件的精度，都將影響產(chǎn)品的良率，其中在曝光環(huán)節(jié)的影響尤其顯著。因此，對鏡筒等器件的的定位精度調(diào)節(jié)在曝光之前的校準工作是光刻機實際生產(chǎn)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。