技術編號：12779144
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種檢測裝置，具體涉及一種可利用照明攝像模塊獲取基板的若干個區(qū)域影像的基板檢測裝置。背景技術「光罩(Mask)」是制作集成電路非常重要的工具，將設計圖上的幾何圖形「第一次縮小」，以電子束刻在基板(如石英片)上，由于電子束的直徑大小約為1μm(微米)，所以用電子束刻在石英片上的圖形線寬大約1μm(微米)，再利用光罩進行圖形轉移，將光罩上的圖形轉移到硅晶圓上。而光罩在進行圖形轉移前，需先經(jīng)過檢測流程，檢測光罩上是否存在異物。目前傳統(tǒng)的檢測裝置，皆是對基板上的光罩進行全面積影像獲取，再進...
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