技術編號：12775412
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及功能陶瓷薄膜領域，具體為一種新型并聯(lián)結(jié)構的鈦酸鍶鋇/氧化鎂(BST/MgO)撓曲電復合薄膜制備的方法。背景技術隨著科技的進步，特別是電子產(chǎn)品快速迭代，許多的功能材料都在朝著輕薄化轉(zhuǎn)變。電介質(zhì)材料作為功能材料中重要分支也得到了發(fā)展，比如鈦酸鍶鋇薄膜。電子元器件的集成度越高，相應的材料的介電性能越好，因此制備優(yōu)良的介電性能的鈦酸鍶鋇薄膜是目前的一個研究熱點。實驗研究表明一定情況下?lián)锨娦阅芘c介電性能是正相關的，為了提高薄膜的介電性能，摻雜改性是目前研究最廣泛的一個方向。但是這種方法提高的介...
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