技術(shù)編號：12768759
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及表面清潔技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種表面清潔裝置、溫控臺系統(tǒng)及表面清潔方法。背景技術(shù)曝光機(jī)的溫控臺的表面上往往會殘留顆粒物。這些顆粒物如果沒有及時清理掉，則基板與溫控臺的表面在多次擠壓后，可能會使顆粒物嵌入到溫控臺的表面的涂層中，使得基板與溫控臺的表面接觸造成基板表面也產(chǎn)生凹點?，F(xiàn)有技術(shù)中，為了解決該問題，定期清潔溫控臺的表面。但是，由于基板的表面也會有顆粒物，該清潔過程沒有清潔基板的表面，并且在清潔的過程中又會引入新的顆粒物，從而使得清潔的效率較低，影響產(chǎn)能。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明實施例提供一種...
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