技術(shù)編號：12749661
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種快閃存儲器及其制作方法。背景技術(shù)在目前的半導體產(chǎn)業(yè)中，集成電路產(chǎn)品主要可分為三大類型：模擬電路、數(shù)字電路和數(shù)/模混合電路，其中存儲器件是數(shù)字電路中的一個重要類型。近年來，在存儲器件中，快閃存儲器(閃存，flashmemory)的發(fā)展尤為迅速。閃存的主要特點是在不加電的情況下能長期保持存儲的信息，因此被廣泛應用于各種既需要存儲的數(shù)據(jù)不會因電源中斷而消失，又需要重復讀寫數(shù)據(jù)的存儲器。而且，閃存具有集成度高、存取速度快、易于擦除和重寫等優(yōu)點，因而在微機電系統(tǒng)、自動...
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