技術編號：12727164
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種單晶樣片制樣機，適用于5-12英寸單晶拉制后取樣檢測單晶電阻率的過程，屬于半導體材料晶圓制造技術領域。背景技術在半導體單晶生產(chǎn)中，必須要測定單晶頭尾或是單晶段頭尾電阻率和電阻率均勻性。通常是從單晶頭尾一定厚度樣片，通過四探針測定硅片表面特定方位的電阻率，來評判單晶質(zhì)量。四探針測量需要測量區(qū)域相對平整粗糙度適中，探針和硅材料形成完美的金半接觸。在加工廠中直接切割的樣片無法直接測試，硅片研磨表面最適合做測試，但單晶樣片邊緣未經(jīng)處理，研磨設備無法進行加工。通常生產(chǎn)廠制樣時使用干法噴砂打毛...
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