技術(shù)編號(hào):12716387
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。圖案形成裝置及襯底支承裝置本申請(qǐng)是PCT國(guó)際申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/JP2013/057062、申請(qǐng)日為2013年3月13日、發(fā)明名稱為“襯底支承裝置及曝光裝置”、國(guó)家申請(qǐng)?zhí)枮?01380043800.5的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及將通過(guò)處理裝置處理的撓性襯底的一部分以彎曲狀態(tài)或平坦?fàn)顟B(tài)進(jìn)行支承的襯底支承裝置、以及通過(guò)該支承裝置支承的撓性襯底的曝光裝置。本申請(qǐng)基于2012年8月28日申請(qǐng)的日本特愿意2012-188116號(hào)主張優(yōu)先權(quán),并在此援引其內(nèi)容。背景技術(shù)近年來(lái),作為平板顯示器,除了...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。