技術(shù)編號(hào)：12681247
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域，尤其是運(yùn)用于太陽(yáng)能單晶電池片的一種實(shí)現(xiàn)低濃深結(jié)的擴(kuò)散工藝，具體是一種高效低成本實(shí)現(xiàn)低濃深結(jié)的單晶擴(kuò)散方法。背景技術(shù)目前，太陽(yáng)能電池片制造業(yè)中，擴(kuò)散工藝大都使用沉積再高溫?cái)U(kuò)散步驟，無(wú)法加深擴(kuò)散結(jié)深。普通的兩步擴(kuò)散工藝，會(huì)再次進(jìn)行沉積與升溫?cái)U(kuò)散，得不到較低的表面濃度。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種高效低成本實(shí)現(xiàn)低濃深結(jié)的單晶擴(kuò)散方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。本發(fā)明的上述目的是通過(guò)以下技術(shù)措施來(lái)實(shí)施來(lái)實(shí)現(xiàn)的：一種高效低成本實(shí)現(xiàn)低濃深結(jié)的單晶擴(kuò)散方法，它按照以下步驟順序進(jìn)行...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。