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一種新型抗單粒子SRAM位單元的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12678658

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本發(fā)明屬于集成電路技術(shù)領(lǐng)域,具體地說,是涉及一種新型抗單粒子翻轉(zhuǎn)的SRAM位單元。背景技術(shù)為了滿足用戶對計算能力日益增長的需求,半導體工藝節(jié)點快速減小。半導體器件尺寸減小,導致晶體管節(jié)點電容的降低,而與此同時,電路的供電電壓也在相應降低,于是節(jié)點上存儲的電荷量更是急劇衰減。在這種情況下,單粒子事件(SingleEventPhenomena)引起的軟錯誤(SoftError)不僅僅在空間應用中被重點考慮,在地面應用中也逐漸被重視。片上SRAM(靜態(tài)隨機存儲器)一般占據(jù)片上大部分面積,因此,成為發(fā)生...
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