技術(shù)編號：12662194
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及真空控制領(lǐng)域，具體涉及真空控制執(zhí)行器控制驗收系統(tǒng)及其驗收方法。背景技術(shù)真空控制執(zhí)行器是一種可調(diào)增壓器噴嘴環(huán)開度的控制調(diào)節(jié)機構(gòu)，用于對真空裝置進行控制調(diào)節(jié)。可調(diào)增壓器一般分為兩種調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)：一種為電子控制執(zhí)行器，其通過PWM信號發(fā)生器或USB-CAN線實現(xiàn)對電子控制器的控制；而另一種則是真空控制執(zhí)行器。真空控制執(zhí)行器不僅需要真空源、真空調(diào)節(jié)裝置以及真空度的顯示，而且需要測量真空控制執(zhí)行器閥桿的位移，甚至還需要對真空執(zhí)行器的反饋電壓進行監(jiān)測。但是這種真空控制執(zhí)行器在其用于性能的研究、入場的檢...
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