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一種聲波元件封裝結(jié)構(gòu)及其制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12598980

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本發(fā)明涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種聲波元件封裝結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù)聲波元件主要應(yīng)用于手機(jī)等通訊產(chǎn)品中,為迎合通訊產(chǎn)品便攜的要求和輕薄化的趨勢(shì),聲波元件需要尺寸小、厚度薄?,F(xiàn)有技術(shù)中,聲波元件的典型封裝結(jié)構(gòu)及制造方法如下:將聲波元件用錫球?qū)аb焊接在陶瓷基板上;然后采用膜材料包覆該聲波元件,形成空腔結(jié)構(gòu);再于膜材料表面涂覆金屬層,金屬層在陶瓷基板表面接地,起到電磁屏蔽作用?,F(xiàn)有技術(shù)存在以下缺陷:1、受到錫球焊接、膜材料包覆、涂覆金屬層的工藝限制,封裝結(jié)構(gòu)的尺寸和厚度無(wú)法進(jìn)一步減??;2、...
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