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一種薄膜晶體管及其制備方法、顯示器與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12552625

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本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種薄膜晶體管及其制備方法、顯示器。背景技術(shù)一般的,在液晶面板的生產(chǎn)過(guò)程中,金屬導(dǎo)線的制備工藝包括沉積、光刻、濕法蝕刻以及光阻剝離等步驟,在這些步驟中濕法蝕刻直接影響金屬導(dǎo)線制備完成之后的精度,而金屬導(dǎo)線的精度又對(duì)顯示面板的質(zhì)量有很大影響,比如金屬導(dǎo)線表面過(guò)于粗糙會(huì)容易造成與其他膜層的接觸不良、電阻提升等問(wèn)題而最終影響顯示面板的指令?,F(xiàn)有技術(shù)中,為了提高金屬導(dǎo)線的表面精度,會(huì)在濕法蝕刻這一步驟中降低蝕刻速度,但這種方法會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)時(shí)間過(guò)長(zhǎng),進(jìn)而增加生產(chǎn)成本。發(fā)明內(nèi)...
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