技術(shù)編號(hào)：12508657
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及含有特定結(jié)構(gòu)的樹脂。更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及適用于半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜、有機(jī)電場(chǎng)發(fā)光元件的絕緣層等的樹脂、及使用其的感光性樹脂組合物。背景技術(shù)聚酰亞胺樹脂具有優(yōu)異的耐熱性、電絕緣性、力學(xué)特性，因此被廣泛用于半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜、有機(jī)電場(chǎng)發(fā)光元件的絕緣層等中。在將聚酰亞胺用作表面保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的情況下，形成通孔等的一種方法是使用正型光致抗蝕劑的蝕刻。但是，對(duì)于該方法而言，工序中包括光致抗蝕劑的涂布、剝離，存在工序繁雜這樣的問題。因此，以作業(yè)工序的合理化為目的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。