技術(shù)編號：12479098
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及發(fā)光二極管技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種發(fā)光二極管的襯底剝離結(jié)構(gòu)、制作方法及剝離方法。背景技術(shù)在生長藍(lán)綠發(fā)光二極管時，一般采用藍(lán)寶石作為臨時襯底，采用藍(lán)寶石臨時襯底剝離技術(shù)。藍(lán)寶石臨時襯底剝離技術(shù)可以使得襯底重復(fù)利用，也可以使得剝離的外延結(jié)構(gòu)用于制作垂直結(jié)構(gòu)的發(fā)光二極管，垂直結(jié)構(gòu)的發(fā)光二極管明顯地改善發(fā)光二極管的熱傳導(dǎo)效果。因此，藍(lán)寶石剝離技術(shù)是改善發(fā)光二極管光衰，提高發(fā)光二極管使用壽命的關(guān)鍵技術(shù)。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，發(fā)光二極管的外延結(jié)構(gòu)直接生長在藍(lán)寶石臨時襯底上，在剝離藍(lán)寶石臨時襯底時，容易損...
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