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利用變角度曝光制備復(fù)合周期的多級結(jié)構(gòu)的方法及應(yīng)用與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12459122

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本發(fā)明屬于激光加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及利用雙光束干涉制備具有復(fù)合周期的微米-納米跨尺度多級結(jié)構(gòu),通過在制備過程中改變雙光束干涉的曝光角來同時獲得復(fù)合周期和多級微納結(jié)構(gòu),以實現(xiàn)對結(jié)構(gòu)色仿生和表面浸潤性調(diào)控的應(yīng)用。技術(shù)背景在微納加工領(lǐng)域,多級結(jié)構(gòu)一般指由不同尺度大小的微米、納米結(jié)構(gòu)復(fù)合而成的層級式結(jié)構(gòu)。多級結(jié)構(gòu)的功能性主要依賴于層級間的尺度差異,即不同級別的結(jié)構(gòu)之間,尺度相差越大功能性越突出;據(jù)此,此類結(jié)構(gòu)一般具有比表面積大、對光散射能力強、光場聚焦效果好等綜合優(yōu)勢。多級結(jié)構(gòu)在微納器件方面有廣泛且重要...
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