技術(shù)編號(hào):12416675
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及確定調(diào)整外延機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)溫度均勻性的方法。背景技術(shù)硅片進(jìn)入工藝腔體前處于常溫狀態(tài),通過(guò)機(jī)械手臂(包括Wand)從硅片上方吸取硅片進(jìn)入800℃-900℃外延機(jī)臺(tái)腔體后,被放置到基座托盤內(nèi),然后機(jī)械手臂退出。硅片由于溫度的急劇變化,邊緣會(huì)向上翹曲,從而會(huì)碰擦到此時(shí)還未離開腔體的機(jī)械手臂引起邊緣刮傷。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的之一是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種調(diào)整外延機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)溫度均勻性的方法。為實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):調(diào)整外延機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)溫度均勻性的方法,所述外延機(jī)臺(tái)腔體包括...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。