技術(shù)編號：12416661
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶體生長坩堝、裝置及其生長方法。背景技術(shù)藍(lán)寶石晶體的生長方法包括有熱交換法(HEM)和泡生法(KY)。熱交換法原理是利用熱交換器帶走熱量，使得晶體生長形成一下冷上熱的縱向溫度梯度，同時(shí)再由控制熱交換器內(nèi)氣體流量的大小以及改變功率的高低來控制溫度梯度，由此達(dá)成坩堝內(nèi)熔液由坩堝底部籽晶往上生長的一種長晶方法。其優(yōu)點(diǎn)為：長晶開始階端可以自動(dòng)引晶，其自動(dòng)化程度高，容易做到工藝一致性，同時(shí)減少了引晶的勞動(dòng)強(qiáng)度和成本；并且在長晶階端無物理移動(dòng)，固液界面穩(wěn)定。泡生法首先原...
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