技術編號:12393336
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種光纖芯棒的沉積制備方法,具體涉及一種PCVD沉積制備大直徑光纖芯棒的方法,屬于光纖制造技術領域。背景技術光纖芯棒的制備是光纖制造的第一步,光纖的傳輸特性主要取決于芯棒的部分,因此芯棒制備工藝被認為是光纖制備工藝的核心部分。主流用于制備石英光纖芯棒的方法可分為管內(nèi)法和管外法,其中管內(nèi)法主要包括改進的化學氣相沉積工藝(MCVD)和等離子體化學氣相沉積工藝(PCVD),管外法主要包括外部化學氣相沉積工藝(OVD)和軸向化學氣相沉積工藝(VAD)。而PCVD工藝技術沉積過程是在接近真空的低...
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