技術(shù)編號：12369676
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于GaN基LED圖形化襯底技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種基于自組裝金屬微球制備納米級圖形化藍寶石襯底的方法，具體涉及在二氧化硅層表面利用自組裝形成的聚合物微球來制備規(guī)則排列的金屬微球陣列，再通過刻蝕獲得規(guī)則排列的二氧化硅納米柱并進一步刻蝕得到納米級的圖形化藍寶石襯底。背景技術(shù)GaN基LED與傳統(tǒng)的光源相比具有體積小、壽命長、效率高、節(jié)能環(huán)保等優(yōu)點，目前已廣泛應(yīng)用于顯示、指示燈、背光燈、固態(tài)照明、交通信號燈、短程光學(xué)通信和生物傳感器等各個領(lǐng)域。由于缺少大尺寸的GaN襯底，目前GaN薄膜一般是在藍寶石、...
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