技術(shù)編號(hào):12285543
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。蝕刻組合物相關(guān)申請(qǐng)本申請(qǐng)要求在2014年3月18日提交的美國臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)第61/954,698號(hào)案的優(yōu)先權(quán),在此將其內(nèi)容完整并入以供參考。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及在這樣的其它材料存在下選擇性蝕刻氮化鈦的組合物及方法,所述其它材料包括金屬導(dǎo)體、障壁材料(barriermaterial)、絕緣體材料、以及銅、鎢及低k介電材料的暴露層或底下層。背景技術(shù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正快速減少尺寸以及增加微電子裝置、硅芯片、液晶顯示器、微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems,MEMS)、印刷線路...
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- 趙老師:1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應(yīng)用研究
- 王老師:1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
- 王老師:1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復(fù)合加工 4.超聲/激光復(fù)合加工 5.復(fù)合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
- 郝老師:1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
- 劉老師:非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學(xué)機(jī)理,鋰/鈉離子電池,鋰-空氣電池關(guān)鍵材料,多孔合金電極材料,新型二次電池的設(shè)計(jì)與改性。
- 丁老師:1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
- 王老師:機(jī)械制造