技術(shù)編號：12251545
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及膜材料制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種導(dǎo)電性能好、可見光范圍內(nèi)透過率高的透明導(dǎo)電氧化物薄膜(TCO)，具體地說，是一種采用溶膠凝膠法(Sol-Gel法)旋涂成膜，并經(jīng)過真空退火和Ar+反濺清洗制備高性能的AZO薄膜的方法。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜因其在可見光范圍內(nèi)高透過率、對紅外光具有高反射率以及較低的電阻率，在太陽能電池、平板液晶顯示器、發(fā)光二極管(LED)等光電器件領(lǐng)域顯示出了其廣闊的應(yīng)用前景。目前商用的TCO薄膜，使用最多的是摻錫氧化銦薄膜(ITO)，但是，ITO薄膜中的銦...
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