技術(shù)編號：12159963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法。背景技術(shù)公知有有機EL顯示器(OELD：OrganicElectroluminescenceDisplay)和液晶顯示器(LCD：LiquidCrystalDisplay)等的顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件。隨著這些電子器件的近年的薄型化、輕型化，期望應(yīng)用于電子器件的玻璃板、樹脂板、金屬板等基板(第1基板)的薄板化。然而，若基板的厚度變薄，則基板的處理性惡化，因此，難以在基板的表面形成電子器件用的功能層(若為OELD，則為陽...
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