技術(shù)編號：12129391
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，具體涉及一種承載裝置及反應(yīng)腔室。背景技術(shù)圖形化襯底(PatternedSapphireSubstrate，以下簡稱PSS)技術(shù)是目前較為主流的提高LED器件出光效率的方法，是指在藍寶石襯底上生長GaN外延層之前，先通過光刻、刻蝕在藍寶石襯底上制作一層設(shè)計圖形的矩陣，而后再在所制作的具有圖形的襯底上生長GaN外延層。目前，通常采用ICP刻蝕設(shè)備進行上述刻蝕過程，ICP刻蝕設(shè)備包括承載裝置，用于承載基片。請一并參閱圖1a和圖1b，承載裝置包括托盤10和蓋板11，托盤10...
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