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一種基于環(huán)氧玻纖布基板的振動源晶片及微型泵的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12129377

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本發(fā)明涉及微型泵技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于環(huán)氧玻纖布基板的振動源晶片及微型泵。背景技術(shù)壓電陶瓷振動源晶片也稱壓電換能器,是壓電微型泵的主要驅(qū)動器件。微型泵的振動源晶片通常長期工作在有水液體或較潮濕的環(huán)境中,對抗腐蝕性、絕緣性要求比較高,而現(xiàn)有的振動源晶片所使用的金屬基片在這種惡劣環(huán)境下工作時就會出現(xiàn)金屬基片被腐蝕、氧化甚至漏電風(fēng)險,會嚴(yán)重影響產(chǎn)品的使用壽命、效率及安全隱患。且金屬基片容易變形,即變形后不回彈或回彈小,如出現(xiàn)金屬基片變形,振動源晶片的壓電陶瓷片就會出現(xiàn)龜裂,使產(chǎn)品工作效率低或失效,...
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