技術(shù)編號(hào):12129097
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法,且特別是有關(guān)于一種具有刻蝕阻擋結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù)近年來(lái)半導(dǎo)體元件的結(jié)構(gòu)不斷地改變,且元件的內(nèi)存儲(chǔ)存容量也不斷增加。存儲(chǔ)裝置是使用于許多產(chǎn)品之中,例如MP3播放器、數(shù)字相機(jī)、計(jì)算機(jī)檔案等等的儲(chǔ)存元件中。隨著應(yīng)用的增加,對(duì)于存儲(chǔ)裝置的需求也趨向較小的尺寸、較大的記憶容量。因應(yīng)這種需求,是需要制造高元件密度及具有小尺寸的存儲(chǔ)裝置,也因此工藝的難度被提升。因此,設(shè)計(jì)者們無(wú)不致力于開(kāi)發(fā)一種三維存儲(chǔ)裝置,不但具有許多疊層平面而達(dá)到更高的記憶儲(chǔ)存容...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。