技術(shù)編號:12071478
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開總體上涉及固態(tài)熱電器件,具體地涉及適于利用平面處理技術(shù)和異質(zhì)或混合3D集成的相關(guān)技術(shù)制造的熱電發(fā)電機(TEG)。背景技術(shù)熱電發(fā)電機(TEG)除了由環(huán)保材料制成以外,作為具有優(yōu)異的堅固性、可靠性和幾乎無限的服務(wù)壽命的低焓廢熱利用器件而被認(rèn)真研究。隨著越來越流行的電子器件的功耗不斷地最小化,TEG開始被認(rèn)為是結(jié)合或者甚至代替電池或諸如超級電容器的其它能量存儲器件的補充電源。有越來越多數(shù)量的出版物涉及薄膜技術(shù)TEG,其利用在微電子和微機電系統(tǒng)(MEMS)中開發(fā)的良好建立的處理技術(shù),諸如平面處理、...
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