技術(shù)編號:12066608
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體激光器和超輻射發(fā)光二極管及其制備方法,特別涉及一種具有脊形波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的GaN基激光器和超輻射發(fā)光二極管及其制備方法,屬于半導(dǎo)體光電技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)III-V族氮化物半導(dǎo)體被稱為第三代半導(dǎo)體材料,具有禁帶寬度大,化學(xué)穩(wěn)定性好,抗輻照性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn);其禁帶寬度涵蓋整個可見光范圍,因此可用于制作半導(dǎo)體發(fā)光器件,如發(fā)光二極管、激光器和超輻射發(fā)光二極管等?;贗II-V族氮化物半導(dǎo)體的激光器和超輻射發(fā)光二極管具有制作簡單,體積小,重量輕,壽命長,效率高等優(yōu)點(diǎn),在光通信、光泵浦、光存儲和激光...
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