技術(shù)編號：12040783
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。晶片工作臺及光刻系統(tǒng)本申請為分案申請，其母案的申請日為2008年7月11日，申請?zhí)枮?00880107099.8，發(fā)明名稱為“光刻系統(tǒng)、固定方法及晶片工作臺”，其全部內(nèi)容通過引用結(jié)合于此。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于將圖像圖案投影到諸如晶片的目標(biāo)表面上的光刻系統(tǒng)。背景技術(shù)這樣的系統(tǒng)通常是已知的，例如，從WO2004038509已知的。在由后者系統(tǒng)提供的實(shí)例中，將被形成圖案的目標(biāo)受到光子或諸如離子或電子的帶電粒子的入射。為了實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)的高精度圖案化，將目標(biāo)固定或連接至目標(biāo)工作臺（table），至少當(dāng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。