技術編號：12029825
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體芯片用鎳銀腐蝕液，屬于微電子化學試劑技術領域。背景技術超凈高純試劑（Ultra-cleanandHigh-purityReagents）在國際上稱為工藝化學品（ProcessChemicals），是集成電路（IC）以及超大規(guī)模集成電路（VLSI）制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蝕。超凈高純試劑的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。半導體晶體硅材質上連續(xù)鍍上鎳層、銀層后，再在銀層涂覆一定規(guī)格與大小的光刻膠進行保護，而光刻膠與光...
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