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用于軟X射線波段透射式Fibonacci薄膜透鏡及其設(shè)計(jì)、制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12015794

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本發(fā)明屬于光學(xué)透鏡技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于軟X射線波段的透射式Fibonacci序列薄膜透鏡及其設(shè)計(jì)、制備方法。背景技術(shù)軟X射線光學(xué)(電磁波的波長在1~30納米之間)在能源、半導(dǎo)體及大規(guī)模集成電路、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。在軟X射線光學(xué)中,關(guān)鍵器件之一是能夠控制X射線方向并使其產(chǎn)生成像作用的元件。但是,由于在軟X射線波段,材料的折射率一般在0.6~1.1之間,特別是在這一波段中,材料對軟X射線均有很強(qiáng)的吸收作用,因而,到目前為止仍無法制作類似常規(guī)光學(xué)透鏡的元件來實(shí)現(xiàn)軟X射線的成像。...
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