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真空吸平裝置及含其的料片檢測(cè)/移載設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11945688

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本發(fā)明有關(guān)于一種真空吸平裝置,以及含有該真空吸平裝置的料片檢測(cè)設(shè)備和料片移載設(shè)備。背景技術(shù)自動(dòng)光學(xué)檢查(AutomatedOpticalInspection,AOI)泛指運(yùn)用機(jī)器視覺做為檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù),比起公知的人眼檢測(cè)具有高速高精密度的優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)用層面可涵蓋至高科技產(chǎn)業(yè)的研發(fā)、制造品管,以至國(guó)防、民生、醫(yī)療、環(huán)保、電力或其它的相關(guān)領(lǐng)域。在自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域中,欲對(duì)料片進(jìn)行檢測(cè),常見的方式是藉由將料片裝設(shè)于載臺(tái)上,藉由抽真空的手段對(duì)該載臺(tái)提供負(fù)壓,藉由載臺(tái)上的氣孔將料片吸附于載臺(tái)上。然而,部分特殊材...
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