技術(shù)編號(hào)：11925511
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及功率半導(dǎo)體器件，特別涉及一種超勢(shì)壘整流器件及其制造方法。技術(shù)背景現(xiàn)有的功率半導(dǎo)體整流器件按勢(shì)壘類型分為兩種，一種是肖特基勢(shì)壘整流器件，另一種為集成MOS溝道超勢(shì)壘整流器件。其中，肖特基勢(shì)壘整流器件以貴金屬(如金、銀、鉑、鈦、鎳、鉬等)與半導(dǎo)體接觸，以形成異質(zhì)結(jié)勢(shì)壘而制成的半導(dǎo)體器件，為了滿足不同器件正向?qū)▔航档男枨螅ǔ?huì)選擇不同種類的金屬，會(huì)相應(yīng)增加制造工藝的復(fù)雜性，其反向漏電流較大導(dǎo)致反向耗散功率較高，并且需使用貴金屬材料與半導(dǎo)體相接觸，制造成本高，同時(shí)由于重金屬存在污染，其制造...
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